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設備名稱 | 單片清洗機 |
用途 | 晶圓、掩膜版的清洗和甩干 |
操作方式 | 自動 |
適用領域 | 半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等 |
適用工藝 | 晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干 |
清洗方式 | 旋流式沖洗噴嘴，兆聲DIW清洗 |
可清洗尺寸 | 2吋--12吋晶圓 |
真空值 | 顯示屏同步顯示，可達≤-90KPa |
兆聲清洗 | 兆聲頻率280-950KHz可選，功率可調； |
伺服電機 | 采用進口專用旋轉電機，運行安靜平穩，0- 3500RPM+轉/秒加速僅需0.5秒 |
真空吸盤 | 采用PEEK、PTFE材質，強度高、耐腐蝕、密封性能好 |
載片臺 | 采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片 |
主體材質 | 不銹鋼、PP、PVC |
槽體材質 | 不銹鋼、PP、PVDF |
安全防護 | 自動安全門、漏液報警、聲光報警系統 |
模塊化設計 | 滿足客戶多種工藝及產能的定制化要求 |
可編程菜單，方便用戶操作，直觀 | |
實時流程顯示，可控性強 | |
多級密碼，方便管理，安全可靠 | |
自動保存生產數據 | |
可實現功能 | 可裝配裝取片機器人 |
可配置滾刷刷洗； | |
化學液及純水自動供應，流量可視可調 | |
可實現遠程控制 |
