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設備名稱 | 顯影機 |
用途 | 可用于去膠、顯影等黃光區操作 |
操作方式 | 手動/半自動/自動 |
適用領域 | 半導體、LED芯片、MEMS等 |
適用工藝 | 勻膠、顯影、去膠 |
顯影方式 | 槽式 |
適用尺寸 | 2吋--12吋晶圓 |
藥液供給 | 手動或自動供給 |
主體材質 | 不銹鋼、PP、PVC |
槽體材質 | 不銹鋼、PP、PVDF |
溫控精度 | ±1℃ |
安全防護 | 自動安全門、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統 |
模塊化設計 | 滿足客戶多種工藝及產能的定制化要求 |
可編程菜單，方便用戶操作，直觀 | |
實時流程顯示，可控性強 | |
多級密碼，方便管理，安全可靠 | |
自動保存生產數據 | |
可實現遠程控制 | |
可實現功能 | 藥液管理系統（自動供液、自動補液、循環過濾）、機械拋動、恒溫系統、自動滅火等 |
